Metal ve metal alaşım nanopartiküller mikrodalga plazma
sentezi metodu kullanılarak hazırlanabilir; örneğin, Cu, Mo, W, Mo-Ni ve Fe-Co
nanotozlar başarıyla üretilebilmiştir. İşlem koşulları nanopartiküllerin
partikül boyutunu değiştirmek üzere ayarlanabilir. Tipik bir örnek olarak, 2.45
GHz'lik frekansta ve atmosfer basıncında yapılan bir mikrodalga plazma sentezi
gösterilebilir. Öncül, plazma reaksiyon bölmesinde termal olarak ayrıştırılır
ve ürünler daha sonra ısı eşanjöründe yoğunlaştırılır, toz filtresiyle gazdan
ayrılır ve nihayet toz toplayıcıda toplanır. Çalışmada plazma gazı, taşıyıcı
gaz, soğutma gazı, öncül hammaddeleri ve besleme hızı gibi çeşitli proses
parametrelerinin etkisi incelenebilir.
Mikrodalga plazma prosesin şematik görünümü