Elektron demet litografisi, direncin bir elektron demeti ile
pozlandırıldığı litografik proseste kullanılan elektronik devreler teknolojisidir.
İki elektron demet litografi sistemi vardır; tarama litografisi ve projeksiyon
litografisi.
Taramalı elektron demet litografide direnç, desen düzleminde
sürekli olarak hareket eden odaklanmış bir elektron demetine maruz bırakılır
(taranır). Elektron demeti, önceden tanımlanmış bir programa göre bir
bilgisayar tarafından kontrol edilir; bu nedenle şablonlara veya maskelere
gerek yoktur. Bununla birlikte görüntünün böyle ardışık taranması pozlama
süresini arttırır.
Projeksiyon elektron demeti litografisinde geniş bir
odaklanmamış elektron akışı, görüntünün tamamını bir pozlama ile elde etmek
için kullanılır. Bu sistemde, fotokatot belirli bir model optik maskenin
yüzeyinde bulunur. Ultraviyole ışınları fotokatot tabakasını bir maske boyunca
ışınlar ve bu da görüntünün ışınlanmış bölgelerinde fotokatodtan gelen
elektronların emisyonuna neden olur. Bu elektronlar, homojen elektrostatik ve
magnetik alanlar kullanılarak direnç yüzeyine yansıtılır. Sonuçta görüntü, bir
pozlamayla substratın tüm alanı üzerinde oluşturulur. (Bak. Litografi)
Elektron-demet
litografi (a) projeksiyon sistemi ve (b) tarama sistemi (KM: kondenser mercekler, PM: projeksiyon mercekler, RM: redüksiyon mercekler)
